نیتروژن تری فلوراید (NF3) گاز با خلوص بالا
اطلاعات پایه
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
این ماده چیست؟
نیتروژن تری فلوراید (NF3) گازی بی رنگ و بی بو در دمای اتاق و فشار اتمسفر است. می توان آن را تحت فشار متوسط به مایع تبدیل کرد. NF3 در شرایط عادی پایدار است و به راحتی تجزیه نمی شود. با این حال، هنگامی که در معرض دمای بالا یا در حضور کاتالیزورهای خاص قرار می گیرد، می تواند تجزیه شود. NF3 پتانسیل گرمایش جهانی (GWP) بالایی دارد که در جو منتشر شود.
کجا از این مواد استفاده کنیم؟
عامل تمیز کننده در صنعت الکترونیک: NF3 به طور گسترده ای به عنوان یک عامل تمیز کننده برای حذف آلاینده های باقیمانده مانند اکسیدها از سطوح نیمه هادی ها، صفحات نمایش پلاسما (PDP) و سایر قطعات الکترونیکی استفاده می شود. می تواند به طور موثر این سطوح را بدون آسیب رساندن به آنها تمیز کند.
گاز اچینگ در ساخت نیمه هادی ها: NF3 به عنوان گاز اچینگ در فرآیند ساخت نیمه هادی ها استفاده می شود. به ویژه در حکاکی دی اکسید سیلیکون (SiO2) و نیترید سیلیکون (Si3N4) که مواد رایج مورد استفاده در ساخت مدارهای مجتمع هستند، موثر است.
تولید ترکیبات فلوئور با خلوص بالا: NF3 منبع ارزشمندی از فلوئور برای تولید ترکیبات مختلف حاوی فلوئور است. این ماده به عنوان پیش ماده در تولید فلوروپلیمرها، فلوئوروکربن ها و مواد شیمیایی ویژه استفاده می شود.
تولید پلاسما در تولید نمایشگرهای تخت: NF3 همراه با گازهای دیگر برای ایجاد پلاسما در تولید نمایشگرهای صفحه تخت، مانند نمایشگرهای کریستال مایع (LCD) و PDP استفاده می شود. پلاسما در فرآیندهای رسوب و اچ در طول ساخت پانل ضروری است.
توجه داشته باشید که کاربردها و مقررات خاص برای استفاده از این ماده/محصول ممکن است بسته به کشور، صنعت و هدف متفاوت باشد. همیشه دستورالعمل های ایمنی را دنبال کنید و قبل از استفاده از این ماده/محصول در هر کاربردی با یک متخصص مشورت کنید.
